特許
J-GLOBAL ID：201603016675833715

表面形状測定方法および表面形状測定装置

発明者：
梅垣 嘉之

梅垣 嘉之 について


出願人/特許権者：
JFEスチール株式会社

JFEスチール株式会社 について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-121784
公開番号（公開出願番号）：特開2013-246126
特許番号：特許第5929518号
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 物体表面に光線を照射して測定を行う光学式変位計により前記物体表面を走査して、前記光学式変位計に対する前記物体表面の変位データを取得する変位データ取得ステップと、 前記変位データからうねりを除去して補正変位データを取得するうねり除去ステップと、 前記補正変位データを探索して、前記補正変位データが所定の第1閾値よりも低くなる最初の位置を、前記物体表面に加工された溝の溝概略位置として検出する溝概略位置検出ステップと、 前記溝概略位置を含む前記溝の溝始点および溝終点を算出する溝幅算出ステップと、 前記溝始点と前記溝終点との中央位置から前記溝幅の所定割合の幅の範囲に限定した前記補正変位データの最小値を算出する最深位置検出ステップと、 前記最深位置検出ステップで算出された前記補正変位データの最小値と前記補正変位データの変位0との差を前記物体表面に加工された溝の深さとして算出する溝深さ算出ステップと、 を含むことを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (4件)：
G01B 11/02 ( 200 6.01) ,  G01B 11/22 ( 200 6.01) ,  G01B 11/00 ( 200 6.01) ,  G01B 11/24 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01B 11/02 Z ,  G01B 11/22 Z ,  G01B 11/00 C ,  G01B 11/24 A
引用特許：
審査官引用 (4件)
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