特許
J-GLOBAL ID：201603017021383083
液体吐出装置の製造方法、及び、液体吐出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人梶・須原特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-155809
公開番号（公開出願番号）：特開2016-032880
出願日： 2014年07月31日
公開日（公表日）： 2016年03月10日
要約：
【課題】圧電膜を覆う保護膜の一部を除去することによって、保護膜による圧電膜の変形阻害を小さくすること、及び、製造工程中に、保護膜を除去した箇所からの圧電膜の劣化を抑制すること。【解決手段】圧電膜32を覆うように第1保護膜34を成膜してから、個別電極33に接続される配線35を形成する。次に、圧電膜32及び個別電極33が第1保護膜34によって覆われた状態で、配線35を覆うように第2保護膜37を成膜する。その後、第1保護膜34の、個別電極33と重なる部分を除去する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ノズルに連通する圧力室が形成された流路形成部材と、
前記流路形成部材に前記圧力室を覆うように設けられた振動膜と、前記圧力室に対応して前記振動膜に配置された圧電膜と、前記圧電膜の前記振動膜側の面に配置された第1電極と、前記圧電膜の前記振動膜と反対側の面に配置された第2電極と、前記圧電膜を覆う第1保護膜と、前記第2電極に接続された配線と、前記配線を覆う第2保護膜を有する圧電アクチュエータと、
を備えた、液体吐出装置の製造方法であって、
前記振動膜に、前記圧電膜及び前記第2電極を覆うように前記第1保護膜を成膜する、第1保護膜成膜工程と、
前記配線を形成する配線形成工程と、
前記第1保護膜によって前記圧電膜及び前記第2電極が覆われている状態で、前記配線を覆う前記第2保護膜を成膜する、第2保護膜成膜工程と、
前記第2保護膜成膜工程の後に、前記第1保護膜の、前記第2電極と重なる部分を除去する、第1除去工程と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
B41J2/16 305
, B41J2/14 305
, B41J2/16 501
, B41J2/16 517
2C057AF52
, 2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG44
, 2C057AN01
, 2C057AP14
, 2C057AP53
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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