特許
J-GLOBAL ID：201603017077466828
電子顕微鏡および電子顕微鏡制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
一色国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-110882
公開番号（公開出願番号）：特開2014-229587
特許番号：特許第5977200号
出願日： 2013年05月27日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 各種データを格納する記憶部と、
試料に対する観察過程で撮像した各観察画像と、該当観察画像の撮像時における観察条件とを撮像機構から取得し、各観察画像を履歴画像として該当観察条件と対応付けて前記記憶部に格納する処理と、
現時点での前記試料における観察部位の観察画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある所定数の履歴画像と、前記試料について前記記憶部に格納してある前記履歴画像のうち1つである広域画像とを、表示部に表示する処理と、
前記表示部で表示した広域画像中において、前記表示部にて表示中の観察画像および前記所定数の履歴画像について、それぞれの観察条件に基づく前記広域画像における相対的な位置、範囲、および向きを示す所定図形を表示する処理を実行する演算部と、
を備えることを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/22 ( 200 6.01)
, H01J 37/28 ( 200 6.01)
, H01J 37/24 ( 200 6.01)
H01J 37/22 502 Z
, H01J 37/22 502 C
, H01J 37/28 B
, H01J 37/22 502 H
, H01J 37/24
