特許
J-GLOBAL ID：201603017759818904

酸化物超電導薄膜作製用ターゲットおよび酸化物超電導線材の製造方法

発明者：
平田 渉

平田 渉 について


出願人/特許権者：
株式会社フジクラ

株式会社フジクラ について


代理人 (5件)： 志賀 正武 ,  棚井 澄雄 ,  五十嵐 光永 ,  小室 敏雄 ,  清水 雄一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-284700
公開番号（公開出願番号）：特開2014-125666
特許番号：特許第5891167号
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 REBa2Cu3Oxなる組成式(REは希土類元素の1種または2種以上)で示される酸化物超電導体の薄膜を基材上にレーザー蒸着法により生成する場合に用いられ、元素REとBaとCuを含む原料混合物の焼結体からなり、表面にレーザー光を集光照射して発生する原子、分子あるいは微粒子を基材上に堆積させて該基材上に成膜するためのレーザー蒸着用ターゲットであって、 中央部に設けられた焼結体からなるターゲット内側部と、該ターゲット内側部の周囲を取り囲むように設けられた1つあるいは複数の焼結体からなるターゲット外枠部に分割されたことを特徴とするレーザー蒸着用ターゲット。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ( 200 6.01) ,  H01B 13/00 ( 200 6.01) ,  C23C 14/08 ( 200 6.01)
FI (4件)：
C23C 14/24 E ,  H01B 13/00 565 D ,  H01B 13/00 ZAA ,  C23C 14/08 L
引用特許：
出願人引用 (9件)
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