防着部材及びこれを備えた成膜装置並びに防着部材の整備方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：辻川典範 , 山本正緒
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-010674
公開番号（公開出願番号）：特開2014-141709
特許番号：特許第5983428号
出願日： 2013年01月23日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】成膜装置内で発生させた耐食金属からなる成膜用の粒子が被成膜基材の成膜に使用されずに他の部位に飛散して付着するのを防ぐ防着部材であって、前記防着部材の本体が耐食材料からなり、その表面が粗面化処理済みであって且つ膜厚50nm〜500nmの銅で被覆されていることを特徴とする防着部材。

IPC (1件)：