特許
J-GLOBAL ID：201603019477594810

THz帯を用いた検査装置

発明者：
小山 裕

小山 裕 について

, 
五井 広一

五井 広一 について


出願人/特許権者：
ローレル精機株式会社

ローレル精機株式会社 について


代理人 (3件)： 平山 一幸 ,  柴 大介 ,  森田 義則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-210329
公開番号（公開出願番号）：特開2016-080452
出願日： 2014年10月14日
公開日（公表日）： 2016年05月16日
要約：
【課題】被検査類に付着した異物の検出を、非接触で高速及び高効率に容易に行うことができ、かつ低コストであるTHz帯を用いた検査装置を提供する。【解決手段】THz帯を用いた検査装置1は、被検査類2にTHz波を照射するTHz波照射部3と、被検査類2に照射されたTHz波の透過波4又は反射波を検出するTHz波検知部5と、THz波が照射された被検査類2の透過波4又は反射波の強度データから、被検査類2の透過波4又は反射波の強度分布を得る情報処理部10と、を備える。情報処理部10は、透過波4又は反射波の二次元の強度分布を取得し、異物7の付着のない被検査類2を検出したときの強度分布と、検査時に被検査類2を検出したときの検査時強度分布を比較することで、検査時の被検査類2に異物7が付着しているか否かを検出する。被検査類は、例えば紙葉類である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査類にTHz波を照射するTHz波照射部と、 上記被検査類に照射された上記THz波の透過波又は反射波を検出するTHz波検知部と、 上記THz波が照射された上記被検査類の透過波又は反射波の強度データから、上記被検査類の透過波又は反射波の強度分布を得る情報処理部と、 を備え、 上記情報処理部は、上記透過波又は上記反射波の二次元の強度分布を取得し、 異物の付着のない上記被検査類を検出したときの強度分布と、検査時に上記被検査類を検出したときの検査時強度分布を比較することで、検査時の上記被検査類に異物が付着しているか否かを検出する、THz帯を用いた検査装置。
IPC (6件)：
G01N 21/892 ,  G07D 7/12 ,  G01N 21/358 ,  G01N 22/02 ,  G01N 22/00 ,  G07D 7/00
FI (7件)：
G01N21/892 A ,  G07D7/12 ,  G01N21/3581 ,  G01N22/02 B ,  G01N22/00 S ,  G01N22/00 U ,  G07D7/00 D
Fターム (40件)：
2G051AA34 ,  2G051AB01 ,  2G051BA01 ,  2G051BA04 ,  2G051BA11 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BC02 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CD06 ,  2G051DA06 ,  2G051DA13 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059FF01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059GG04 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ15 ,  2G059KK03 ,  2G059MM05 ,  3E041AA09 ,  3E041BB02 ,  3E041BB03 ,  3E041BB10 ,  3E041BC06 ,  3E041CA09 ,  3E041CB03 ,  3E041CB04 ,  3E041EA01
引用特許：
審査官引用 (5件)
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