静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田武志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-084366
公開番号（公開出願番号）：特開2013-213545
特許番号：特許第5928106号
出願日： 2012年04月02日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一方の面に当該一方の面で開口して形成された円環状凹部、他方の面に当該他方の面で開口して形成された環状凹溝及び一端では環状凹溝に開口していると共に他端では円環状凹部で開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔を有した合成樹脂製の軸受体と、一端では該軸受体の一方の面に対面している一方の面で開口して当該一端で円環状凹部に連通している一方、他端に気体が供給されるようになっている給気通路を備えていると共に該軸受体に一体的に結合された軸受基体と、一端では軸受体の他方の面の中央部で開口すると共に軸受体の一方の面まで伸びた空洞を有した自励振動減衰機構とを具備している静圧気体軸受。

IPC (2件)：