特許
J-GLOBAL ID：201603020530149554
静電チャック及びその静電チャックに使用されるベース部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 誠
, 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-215635
公開番号（公開出願番号）：特開2016-082206
出願日： 2014年10月22日
公開日（公表日）： 2016年05月16日
要約：
【課題】温度のばらつきを低減できる静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャック1は、冷却媒体が流れる冷却路31を有するベースプレート30と、ベースプレート30の上面30Aに接着層20を介して接続され、基板載置面11Aに載置される基板Wを吸着保持する静電チャック基板10と、を有する。冷却路31は、ベースプレート30の外部から冷却媒体を導入する導入部33と、冷却媒体をベースプレート30の外部に排出する排出部34と、始端部が導入部33と連通し終端部が排出部34と連通する管路32とを有する。導入部33は、ベースプレート30の上面30Aと断面視で直交する軸A1に対して所定の角度θ1だけベースプレート30の下面30B側に傾斜して、ベースプレート30の下面30Bから管路32の始端部に向かって延びるように形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
冷却媒体が流れる冷却路を有するベース部材と、
前記ベース部材の上面に接着層を介して接続され、上面に載置される基板を吸着保持する静電チャック基板と、を有し、
前記冷却路は、前記ベース部材の外部から前記冷却媒体を導入する導入部と、前記冷却媒体を前記ベース部材の外部に排出する排出部と、始端部が前記導入部と連通し終端部が前記排出部と連通する管路と、を有し、
前記導入部は、前記ベース部材の上面と断面視で直交する軸に対して所定の角度だけ前記ベース部材の下面側に傾斜して、前記ベース部材の下面から前記管路の始端部に向かって延びるように形成されていることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
3C016GA10
, 5F131AA02
, 5F131BA03
, 5F131BA04
, 5F131BA19
, 5F131CA03
, 5F131CA06
, 5F131EA03
, 5F131EB14
, 5F131EB17
, 5F131EB78
, 5F131EB79
, 5F131EB81
, 5F131EB82
