静電チャック上の誘電体被膜としてダイヤモンド膜を用いる方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173100
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070181
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】処理中に基板処理チャンバにおいて基板を確実に保持する静電チャックを提供すること。【解決手段】本発明の静電チャック100は導電要素120を覆うダイヤモンド層110を含む。このようなチャックは向上したクランプ力と、向上したエッチング耐性を有する。一つの実施形態においては、ダイヤモンド層110は絶縁層であり、別の実施態様においては均一な表面荒さを有した導電層である。

請求項（抜粋）：

処理中に処理チャンバ内で基板を保持する静電チャックであって、上面を有する導電要素と、前記上面を覆い、前記上面に対向し前記基板を受ける実質的に平坦な表面を有するダイヤモンド層と、を備える静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-277648
ウエハチャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-347940 出願人：株式会社日立製作所
静電チヤツク及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-303490 出願人：ソニー株式会社

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