特許
J-GLOBAL ID：201603020741364133
描画装置、テンプレート作成装置、および、テンプレート作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-025894
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165091
特許番号：特許第5872310号
出願日： 2012年02月09日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を水平姿勢で保持するステージと、
前記ステージを移動させる駆動部と、
前記駆動部に前記ステージを移動させる移動制御部と、
前記ステージに保持された基板を撮像する撮像部と、
前記撮像部に前記基板を撮像させる撮像制御部と、
アライメントマークが形成された登録用基板を前記撮像部が撮像することにより取得された撮像データから、前記アライメントマークのテンプレートを作成するテンプレート作成部と、
前記アライメントマークが形成された被処理基板を前記撮像部が撮像することにより取得された撮像データから、前記テンプレートを用いたパターンマッチングによって前記アライメントマークを検出する検出部と、
前記ステージに保持された前記被処理基板に対して光を照射して、前記被処理基板にパターンを描画する照射部と、
を備え、
前記撮像制御部が、サーバとして動作するサーバ部にて実現されるとともに、前記移動制御部が、クライアントとして動作するクライアント部にて実現され、
前記移動制御部が、前記登録用基板を保持した前記ステージの移動指示を受信した場合に、前記ステージを指示された位置まで移動させた後に、前記撮像制御部に対して撮像指示を送信し、
前記撮像制御部が、前記撮像指示を受信した場合に、前記撮像部に前記登録用基板を撮像させ、当該撮像指示に対する応答信号であるACK信号を前記移動制御部に送信し、
前記ACK信号に、前記ステージの追加の移動指示を含めることができ、
前記登録用基板の撮像データを、表示装置に表示させる表示制御部と、
前記ACK信号に前記追加の移動指示を含めるか否かの指示を、オペレータから受け付ける受付部と、
をさらに備える、
描画装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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