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J-GLOBAL ID：201702211694739683   整理番号：17A1375015

三次元表面トポグラフィ計測のための光周波数コムファイバーレーザーの発振特性の調査

著者 (3件)： 乾和磨 (大阪大 大学院) ,  高谷裕浩 (大阪大 大学院) ,  水谷康弘 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.P45  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 精密加工表面トポグラフィ計測に用いるレーザー装置を開発している。提案手法では,測定表面に照射したレーザー光の回折光強度分布を解析し表面トポグラフィを求める。本手法の課題として,測定可能範囲が光源の波長に依存するため,多数の波長を持つ光源が必要となる点が挙げられる。そこで本研究では,広帯域で細密な離散的周波数を持つ光周波数コムに着目し,光周波数コムファイバーレーザーを作製し発振特性を検証した。(著者抄録)

シソーラス用語： 三次元測定 ,  トポグラフィー【形態】 ,  形状測定 ,  *周波数 ,  *ファイバレーザ ,  *特性 ,  光回折 ,  放射強度 ,  分布 ,  Fourier変換 ,  光学系 ,  周波数測定 ,  計測 ,  光ファイバ ,  光学的測定
準シソーラス用語： エルビウム添加ファイバ ,  スペクトル測定 ,  強度分布 ,  *光ファイバレーザ ,  光強度 ,  *光周波数コム ,  三次元形状測定 ,  *発振特性 ,  表面トポグラフィー

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (2件)：

• 高谷裕浩, 三好隆志, 外山潔, 斎藤勝政, 回折パターンによる極微細溝形状の測定評価に関する研究, 精密工学会誌 Vol.57(1991).
• 梁渭, 超精密ダイヤモンド切削面周期構造の光散乱スペクトル解析, 大阪大学大学院修士論文(1996)

タイトルに関連する用語 (5件)： 表面トポグラフィ計測 ,  光周波数コム ,  ファイバーレーザー ,  発振特性 ,  調査