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J-GLOBAL ID:201702214037341244   整理番号:17A0471212

Au薄膜のナノ秒パルスレーザナノ構造化:低および大気圧での照射の比較【Powered by NICT】

Nanosecond pulsed laser nanostructuring of Au thin films: Comparison between irradiation at low and atmospheric pressure
著者 (4件):
資料名:
巻: 403  ページ: 448-454  発行年: 2017年 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ガラス基板に堆積した厚さ十nmのAu薄膜を大気圧と真空条件(~六百十~ 5Torr)におけるナノ秒UV(355nm)レーザパルスを照射した。膜の部分アブレーション/蒸発と生成されたナノ粒子(NPs)の形態に及ぼすレーザフルエンス(200 400mJ/cm~2),出発膜(~40 80nm)の厚さと周囲の圧力の影響を調べた。NP形成の動力学は連続波レーザ曝露試料の透過型実時間を測定し,プローブビーム偏向法を用いて研究した。照射の結果として膜からの物質の駆出を時間分解シャドウグラフ法により確認した。実験は,NP直径およびそれらのサイズ分布は開始膜のレーザフルエンスと厚さに関係なく照射は真空中で行われる場合小さいことを示した。プラズモンバンドは,低いバックグラウンド圧力に伴い高周波数へシフトすることを示した。光学測定は,膜がレーザパルス中の融解とアブレーションが,照射領域の透過率は残りの十金の材料と凝固の放出によるマイクロ秒の間に変化する続けている。著者らの結果は,その厚さは研究した範囲にあるとき,部分アブレーションは薄膜のナノ秒パルス照射によるナノ構造では無視できないことを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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レーザ照射・損傷 
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