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J-GLOBAL ID：201702229186759695   整理番号：17A1374670

マイクロトラップアレイを用いたシリコン微細チップの配列

著者 (4件)： 岡田卓也 (大阪大 大学院) ,  岡田義之 (大阪大 大学院) ,  有馬健太 (大阪大 大学院) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E08  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 次世代ディスプレイとして,高速動作可能なTFTアレイを薄いガラスやプラスチック基板上へ作製することが求められている。単結晶シリコンウェハ上で作製した高性能TFTをディスプレイ基板上で再配置できれば,プラスチック基板でも高精細かつ高速なディスプレイを実現できる。本報告ではマイクロ流路を用いて直方体TFTチップをアレイ化する配列手法を提案し,40個のトラップに対し50×100×10μmの直方体Siチップを歩留まり100%で整列させた。(著者抄録)

シソーラス用語： *表示装置 ,  *半導体チップ ,  配列 ,  微細構造 ,  アレイ ,  薄膜トランジスタ ,  マイクロチャネル ,  ケイ素

分類 (2件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

引用文献 (3件)：

• Kohei Sakaike et al., Appl. Phys. Lett. 103 (2013) 233510
• Robert J. Knuesel et al., J. Microelectromech. Syst. 21 (2012) 85
• Wei-Heong Tan et al., PNAS 104 (2007) 1146

タイトルに関連する用語 (2件)： シリコン ,  微細