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J-GLOBAL ID：201702230850896071   整理番号：17A0848121

電磁場解析によるマイクロ波プラズマの電子密度算出手法の開発

著者 (6件)： 吉田和史 (大阪大 大学院工学研究科) ,  田中恭輔 (大阪大 大学院工学研究科) ,  首藤光利 (大阪大 大学院工学研究科) ,  大参宏昌 (大阪大 大学院工学研究科) ,  垣内弘章 (大阪大 大学院工学研究科) ,  安武潔 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2017  ページ： 28-29  発行年： 2017年06月29日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマプロセスは半導体デバイス製造や材料表面処理技術として欠かせないものであり,その中で起こっている物理現象を理解することは非常に重要である。またプラズマ条件の最適化には内部パラメータの制御が効果的である。そこで本研究では,挾ギャップマイクロ波プラズマ装置の電磁場シミュレーションを行い,プラズマ発生時のマッチング機構の状態から計算によってプラズマの複素比誘電率を決定し,その値からプラズマインピーダンスや導電率,電子密度を解析する手法を開発した。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *電子密度 ,  水素 ,  *電磁場解析 ,  電磁場 ,  シミュレーション ,  複素誘電率 ,  電気伝導率 ,  消費電力 ,  計算 ,  Maxwell方程式
準シソーラス用語： *マイクロ波プラズマ ,  *水素プラズマ ,  プラズマインピーダンス

分類 (1件)： プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電磁場解析 ,  マイクロ波プラズマ ,  電子密度 ,  手法 ,  開発