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J-GLOBAL ID：201702231067435336   整理番号：17A0400512

MEMS加速度計の衝撃保護構造における接着層の評価とモデリング【Powered by NICT】

Evaluation and modeling of adhesion layer in shock-protection structure for MEMS accelerometer

著者 (8件)： Yamane Daisuke (Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa 226-8503, Japan) ,  Konishi Toshifumi (The University of Tokyo, Meguro, Tokyo 153-8904, Japan) ,  Safu Teruaki (The University of Tokyo, Meguro, Tokyo 153-8904, Japan) ,  Toshiyoshi Hiroshi (The University of Tokyo, Meguro, Tokyo 153-8904, Japan) ,  Sone Masato (Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa 226-8503, Japan) ,  Masu Kazuya (Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa 226-8503, Japan) ,  Machida Katsuyuki (Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Kanagawa 226-8503, Japan) ,  Machida Katsuyuki (NTT Advanced Technology Corporation, Atsugi, Kanagawa 243-0124, Japan)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 66  ページ： 78-84  発行年： 2016年 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,多層金属技術により作製したMEMS加速度計の衝撃保護構造における接着層の評価とモデリングを提示した。衝撃保護構造は過剰加速の入力でプルーフマス変位を制限するために使用されている。衝撃保護構造の機械的特性を明らかにするために,著者らは,入力加速度の関係と多層金属構造における接着層の接着力を調べた。マルチフィジックスシミュレーションのために,加速モジュールと組み合わせた衝撃保護モジュールの等価回路モデルを提案した。シミュレーションパラメータを得るために接着層の接着力を,引張試験により検討した。マルチフィジックスシミュレーション結果は測定した静電容量加速度特性と一致した。高加速の入力での過渡的及び静電容量加速シミュレーションも衝撃保護構造の非線形挙動を示すことを実証した。したがって,提案したモジュールであるショック耐性を解析するためのマルチフィジックスシミュレーションに有用であることを確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 金属構造 ,  *加速度計 ,  引張試験 ,  多層 ,  付着力 ,  *衝撃 ,  静電容量 ,  シミュレーション ,  *加速度 ,  *MEMS ,  *モデリング
準シソーラス用語： 非線形挙動 ,  等価回路モデル ,  マルチフィジックスシミュレーション ,  *接着層 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 衝撃保護 ,  MEMS ,  加速度計 ,  多層金属 ,  マルチフィジックスシミュレーション

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  加速度計 ,  衝撃 ,  接着層 ,  評価 ,  モデリング