文献
J-GLOBAL ID：201702231147970365   整理番号：17A0189958

XYZマイクロステージの設計研究

A design study of an XYZ micro-stage
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著者 (7件)：
SHIMIZU Yuki

SHIMIZU Yuki について

(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)

Tohoku Univ., Miyagi, JPN について

, 
SUGAWARA Takuma

SUGAWARA Takuma について

(Tohoku Univ.)

Tohoku Univ. について

, 
ADACHI Keisuke

ADACHI Keisuke について

(Tohoku Univ.)

Tohoku Univ. について

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ITO So

ITO So について

(Tohoku Univ.)

Tohoku Univ. について

, 
GAO Wei

GAO Wei について

(Tohoku Univ.)

Tohoku Univ. について

, 
NIWA Eiji

NIWA Eiji について

(Res. Inst. for Electromagnetic Materials)

Res. Inst. for Electromagnetic Materials について

, 
SASAKI Yoshihiro

SASAKI Yoshihiro について

(Res. Inst. for Electromagnetic Materials)

Res. Inst. for Electromagnetic Materials について


資料名：
Proceedings of the International Conference on Positioning Technology (CD-ROM)  (Proceedings of the International Conference on Positioning Technology (CD-ROM))

Proceedings of the International Conference on Positioning Technology (CD-ROM) について


巻： 7th  ページ： ROMBUNNO.A5-1  発行年： 2016年 
JST資料番号： W1407B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*位置決め

位置決め について

, 
ジルコニウム酸チタン酸鉛

ジルコニウム酸チタン酸鉛 について

, 
アクチュエータ

アクチュエータ について

, 
摩擦伝動

摩擦伝動 について

, 
*台

台 について

, 
永久磁石

永久磁石 について

, 
板ばね

板ばね について

, 
センサ

センサ について

, 
変位センサ

変位センサ について


準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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PZT【鉛化合物】

PZT【鉛化合物】 について


分類 (1件)：
分類
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その他の機械要素 
(QB01120F)

その他の機械要素 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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ステージ

ステージ について

, 
設計

設計 について

, 
研究

研究 について


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