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J-GLOBAL ID：201702244393969139   整理番号：17A0606060

40GHzまでのフレキシブルマイクロストリップ線路型プローブを用いた薄膜の透磁率測定

Permeability Measurements of Thin Film Using a Flexible Microstrip Line-Type Probe Up To 40 GHz

著者 (8件)： Yabukami S. (Tohoku Gakuin University) ,  Kusunoki K. (Sendai National College of Technology) ,  Uetake H. (Tohoku Gakuin University) ,  Yamada H. (Sendai National College of Technology) ,  Ozawa T. (Tohoku Gakuin University) ,  Utsumi R. (Toei Scientific Industrial Company Ltd.) ,  Moriizumi T. (Candox Systems Inc.) ,  Shimada Y. (Graduate School of Engineering, Tohoku University)
資料名： Journal of the Magnetics Society of Japan (Web)  (Journal of the Magnetics Society of Japan (Web))
巻： 41  号： 2  ページ： 25-28(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： U0776A  ISSN： 1882-2932  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表皮効果利用の高感度プローブを薄膜透磁率測定用に開発した。フレキシブル基板上の新しいマイクロストリップ線路型プローブを作製し,磁性薄膜と接触させて配置した。このプローブは信号/雑音比と広帯域測定を強化した。非晶質CoNbZr薄膜(25mm×25mm,5nm厚)の透磁率とCoFeB膜(45mm×25mm,0.5μm厚)のそれを最適化した。測定された値はLandau-Lifshits-Gilbert方程式と40GHzまでの渦電流発生を使った理論値とほぼ一死した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *透磁率 ,  透磁率測定 ,  *磁気測定器 ,  *フレキシブル基板 ,  *マイクロストリップ線路 ,  プローブ ,  *磁性薄膜 ,  *非晶質磁性体 ,  *コバルト合金 ,  ニオブ含有合金 ,  ジルコニウム含有合金 ,  鉄含有合金 ,  ホウ素含有合金 ,  金属間化合物 ,  *磁化特性 ,  *方程式 ,  広帯域 ,  渦電流 ,  強磁性共鳴
準シソーラス用語： *透磁率計 ,  *Landau-Lifshitz-Gilbert方程式

著者キーワード (4件)： flexible microstrip-line-type probe ,  skin effect ,  permeability ,  very thin film

分類 (3件)： 磁性体測定技術・装置  (BM06030I) ,  金属の磁区及び磁化過程  (BM06112D) ,  磁性材料  (NA04040H)

引用文献 (11件)：

• 1) P. A. Calcagno, D. A. Thompson: Rev. Sci. Instrum., 46, 904 (1975).
• 2) M. Yamaguchi, S. Yabukami and K.I. Arai: IEEE Trans. Magn., 32, 4941 (1996).
• 3) H. B. Weir: Proc IEEE., 62, 33 (1975).
• 4) T. Kimura, S. Yabukami, T. Ozawa, Y. Miyazawa, H. Kenju, Y. Shimada: J. Magn. Soc. Jpn. 38, pp. 87-91 (2014).
• 5) K. Kusunoki, S. Yabukami, T. Ozawa, H. Uetake, H. Yamada, Y. Miyazawa, Y. Shimada: J. Magn. Soc. Jpn. 39, pp. 111-115 (2015).

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロストリップ線路 ,  プローブ ,  薄膜 ,  透磁率測定