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J-GLOBAL ID：201702245658787716   整理番号：17A1367116

機能性メタルの熱アシスト型反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発

Development of Self-heated Stage Suitable for Thermal Assist Reactive Ion Etching of the Functional Metals

著者 (6件)： 村田祐貴 (新潟大学大学院 自然科学研究科) ,  HAN Gang (新潟大学大学院 自然科学研究科) ,  大川太基 (新潟大学大学院 自然科学研究科) ,  今井純一 (新潟大学大学院 自然科学研究科) ,  寒川雅之 (新潟大学大学院 自然科学研究科) ,  安部隆 (新潟大学大学院 自然科学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 137  号： 9  ページ： 262-266(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 機能性メタルはその機械的特性から難加工材料とされている。本稿では,各種機能性メタルの加工を目的とした自己加熱式ステージをシミュレーションに基づいた設計と作製をおこない,加工速度,基板表面温度および加工形状の評価をおこなった。その結果,ステージ温度を目標温度である300°Cに10分以内に到達させ,温度分布を5°C以内で均一化することができた。また,各種機能性メタルのエッチングにおいて加工速度が最大3倍ほど改善された。

シソーラス用語： *機能材料 ,  *金属材料 ,  *フッ素 ,  *RIE【エッチング】 ,  *加熱 ,  *加工速度 ,  温度依存性 ,  時間依存性 ,  シミュレーション ,  温度分布 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  基板温度 ,  表面温度 ,  熱応力 ,  応力分布
準シソーラス用語： 機能性メタル ,  難加工材料 ,  *DRIE【エッチング】 ,  自己加熱

著者キーワード (8件)： 機能性メタル ,  難加工材 ,  フッ素系ガス ,  深掘り反応性イオンエッチング ,  functional metals ,  hard-to-etch material ,  fluoride gas ,  deep reactive ion etching

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• (1) J. Hu, Y. Zhang, S. Chen, S. He, N. Li, and J. Chen : “Inductively coupled plasma etching of bulk molybdenum”, Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), IEEE 25th International Conference on (2012)
• (2) D. Ha, H. Takeuchi, Y. K. Choi, and T. J. King : “Molybdenum Gate Technology for Ultrathin-Body MOSFETs and FinFETs”, IEEE TED, Vol. 51, pp. 1989-1996 (2004)
• (3) E. R. Parker, M. P. Rao, K. L. Turner, C. D. Meinhart, and N. C. MacDonald : Journal of microelectromechanical systems, Vol. 16, No. 2 (2007)
• (4) C. M. J. M. Pypen, H. Plenk Jr, M. F. Ebel, R. Svagera, and J. Wernisch : “ Characterization of microblasted and reactive ion etched surfaces on the commercially pure metals niobium, tantalum and titanium”, Journal of Materials Science: Materials in Medicine 8 (1997) 781 Ð 784
• (5) S. Yamada, Y. Minami, M. Sohgawa, and T. Abe : “Thermal reactive ion etching technique involving use of self-heated cathode”, Rev. Sci. Intruments, Vol. 86, No. 4 (2015)

タイトルに関連する用語 (7件)： 機能性 ,  メタル ,  アシスト ,  反応性イオンエッチング ,  自己加熱 ,  ステージ ,  開発