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J-GLOBAL ID：201702247462513728   整理番号：17A1085012

干渉レーザ加工用の方形及び上部平坦への4fシステムと空間光変調器によるビーム成形

Beam shaping by spatial light modulator and 4f system to square and top-flat for interference laser processing

著者 (7件)： OSAWA Kazuhito (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  YOSHIDA Masataka (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  NAKATA Yoshiki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MIYANAGA Noriaki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  NARAZAKI Aiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  SHOJI Tatsuya (Osaka City Univ., Osaka, JPN) ,  TSUBOI Yasuyuki (Osaka City Univ., Osaka, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10091  ページ： 100911C.1-100911C.8  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 位相限定空間光変調素子(SLM)と空間周波数フィルタリングにより,フェムト秒レーザビームを上部平坦および矩形ビームへ成形した。フェムト秒レーザビームの空間位相分布は,ビーム整形のための伝達関数を反映する位相格子パターンにより変調した。4f系のFourier面における高い空間周波数成分を濾過することで,0次ビームの空間振幅分布を上部平面および矩形に整形した。空間周波数フィルタの最適径は2.0mmで,ビームプロファイルの0.92mm範囲の標準偏差は3.7%,平均強度は元のピーク強度の66.1%であった。この方式をフェムト秒レーザに適用し,マルチショットレーザ加工により加工した領域の単位構造の均一性を改善した。

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  光干渉 ,  *ビーム成形 ,  空間光変調素子 ,  空間周波数 ,  *フェムト秒レーザ ,  レーザビーム ,  位相格子 ,  分布
準シソーラス用語： 位相分布

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 干渉 ,  レーザ加工 ,  方形 ,  平坦 ,  空間光変調器 ,  ビーム成形