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J-GLOBAL ID：201702254266973649   整理番号：17A1374748

大気圧プラズマ装置の電磁場シミュレーションとプラズマパラメータ解析

著者 (6件)： 田中恭輔 (大阪大 大学院工学研究科) ,  吉田和史 (大阪大 大学院工学研究科) ,  首藤光利 (大阪大 大学院工学研究科) ,  大参宏昌 (大阪大 大学院工学研究科) ,  垣内弘章 (大阪大 大学院工学研究科) ,  安武潔 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.G09  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 新しいプラズマプロセスの開発には,プラズマの内部パラメータをモニターして制御することが極めて効果的である。しかし,大気圧プラズマについては内部パラメータの有効な測定法が確立されていないのが現状である。本研究ではインピーダンスマッチング回路の状態をもとに,電磁場解析により大気圧プラズマの内部パラメータを求める新手法を提案し,150MHz大気圧プラズマの電子密度,電子温度の算出に適用した。(著者抄録)

シソーラス用語： *大気プラズマ ,  *プラズマ装置 ,  数値解析 ,  電磁場 ,  プラズマパラメータ ,  解析 ,  電磁場解析 ,  *電子密度 ,  *電子温度 ,  計算モデル ,  ヘリウム ,  インピーダンス ,  発光分析
準シソーラス用語： パラメータ解析 ,  大気圧プラズマ ,  電磁シミュレーション ,  発光スペクトル分析

分類 (1件)： プラズマ装置  (BJ02082I)

引用文献 (1件)：

• S. Nunomura, M. Kondo, and H. Akatsuka: Plasma Sources Sci. Technol. 15, 783-789 (2006).

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気圧プラズマ ,  電磁場 ,  シミュレーション ,  プラズマ ,  パラメータ解析