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J-GLOBAL ID：201702259679180577   整理番号：17A0363268

ガラス基板のレーザ切断における応力分布の光弾性観察【Powered by NICT】

Photoelastic observation of stress distributions in laser cleaving of glass substrates

著者 (5件)： Yamada Keiji (Institute of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan) ,  Maeda Takahiro (Nippon Steel & Sumikin Engineering Co., Ltd., Japan) ,  Iwai Tomoaki (Institute of Science and Engineering, Kanazawa University, Japan) ,  Sekiya Katsuhiko (Institute of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan) ,  Tanaka Ryutaro (Institute of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 47  ページ： 333-343  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱応力の光弾性観察はレーザによる切断熱応力によるガラス基板の分離中に行った。偏光器システムは,レーザ切断中の観察のためのレーザ切断システムの構築し,等色線と等傾線縞パターンはレーザ照射により誘起された熱応力を解析するために研究した。提案した方法は,プロセス精度を低下させることを応力非対称性の可視化のための,プロセスの信頼性を低下させる亀裂停滞の検出を可能にした。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 可視化 ,  熱応力 ,  *レーザ切断 ,  信頼性 ,  *レーザ ,  レーザ照射 ,  *応力分布 ,  亀裂 ,  偏光器 ,  非対称性 ,  *光弾性 ,  等色線 ,  縞 ,  *ガラス基板

著者キーワード (5件)： レーザ切断 ,  ガラス基板 ,  ダイシングプロセス ,  熱応力 ,  光弾性

分類 (3件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  研削  (QC03000R) ,  表面硬化熱処理  (WC03030E)

タイトルに関連する用語 (5件)： ガラス基板 ,  レーザ切断 ,  応力分布 ,  光弾性 ,  観察