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J-GLOBAL ID：201702269501604559   整理番号：17A1138430

超短パルス軟X線レーザー照射によるアブレーション

著者 (18件)： 石野雅彦 (量研) ,  HUNG Dinh Thanh (量研) ,  FAENOV Anatory (大阪大) ,  犬伏雄一 (JASRI) ,  市丸智 (NTT-AT) ,  大和田成起 (理研) ,  河内哲哉 (量研) ,  木下博雄 (兵庫県大) ,  今亮 (JASRI) ,  坂上和之 (早稲田大) ,  末元徹 (豊田理研) ,  PIKUZ Tatiana (大阪大) ,  保智己 (奈良女大) ,  錦野将元 (量研) ,  長谷川登 (量研) ,  羽多野忠 (東北大) ,  東口武史 (宇都宮大) ,  鷲尾方一 (早稲田大)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.5a-S44-8  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *軟X線 ,  *X線レーザ ,  *レーザアブレーション ,  *超短パルスレーザ ,  *X線自由電子レーザ ,  パルスレーザ照射 ,  フェムト秒 ,  ピコ秒 ,  軟X線レーザ ,  SACLA【レーザ】

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  その他のレーザ  (BD04090H)

タイトルに関連する用語 (2件)： 超短パルス軟X線レーザー ,  アブレーション