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J-GLOBAL ID：201702273344482706   整理番号：17A1381682

法線ベクトル追跡法に基づくnanoprofilerによる高精度三次元非球面ミラー測定【Powered by NICT】

High-accuracy three-dimensional aspheric mirror measurement with nanoprofiler based on normal vector tracing method

著者 (7件)： Kudo Ryota (Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan) ,  Kitayama Takao (Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan) ,  Tokuta Yusuke (Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan) ,  Shiraji Hiroki (Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan) ,  Nakano Motohiro (Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan) ,  Yamamura Kazuya (Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan) ,  Endo Katsuyoshi (Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamada-oka, Suita Osaka, 565-0871, Japan)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 98  ページ： 159-162  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高精度非球面光学素子のための需要は近年著しく増加している。そのような光学素子の表面形状は1nmピークから谷(PV)精度で測定する必要がある;が,従来法と1nm PV精度を達成することは困難である。本研究では,要求される精度を達成できることを法線ベクトル追跡法に基づくナノプロファイラを開発した。非球面鏡はナノプロファイラを用いて測定した,再現性のある,サブナノメータ測定を達成した。さらに,Fizeau干渉計の性能と提案ナノプロファイラ結果を比較し,その差は系統誤差以内であったことを見出した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 系統誤差 ,  非球面鏡 ,  非球面レンズ ,  再現性 ,  *三次元 ,  光学素子 ,  非球面光学 ,  Fizeau干渉計 ,  表面形状 ,  *非球面 ,  *高精度 ,  *法線ベクトル

著者キーワード (5件)： 非球面光学 ,  自由形状光学 ,  高精度表面測定 ,  非接触測定 ,  法線ベクトル追跡

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 法線ベクトル ,  追跡 ,  非球面 ,  ミラー