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J-GLOBAL ID：201702280457771075   整理番号：17A1627443

低温ナノ構造金属粒子膜堆積のための溶融インジウムと大気圧以下の圧力水素グロー放電間の相互作用の研究【Powered by NICT】

Study of the interaction between molten indium and sub-atmospheric pressure hydrogen glow discharge for low-temperature nanostructured metallic particle film deposition

著者 (5件)： Ohmi Hiromasa (Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Ohmi Hiromasa (Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Kakiuchi Hiroaki (Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Yasutake Kiyoshi (Department of Precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Yasutake Kiyoshi (Research Center for Ultra-Precision Science and Technology, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 728  ページ： 1217-1225  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インジウム(In)蒸発は高圧水素グロープラズマにより増強されると,サブミクロン細孔を持つスポンジ状では膜は基板上に調製した。グロープラズマは容量結合プラズマとしての13.3kPaの全圧(100Torr)で生成した。プロセス雰囲気はHeとArで希釈すると,In蒸発速度は水素濃度の増加により増加し,蒸発はH_2ガス無しで観察されなかった。では堆積速度は300°Cから600°Cまでの範囲で,温度への依存性を示さないしかし,In堆積速度は入力電力の増加により直線的に増加した。得られた蒸着速度は450°Cの温度でも800Wの入力電力で7.5mg/sに達した。得られた重量堆積速度が1.6μm/sの厚さ堆積速度に相当する。Si基板上に作製したIn膜は多孔質泡状構造から構成されている。粒子直径は40nmから分布数十μmであった。数μm以上の直径を持つ粒子は100nm以下の細孔サイズを持つ多孔性構造を明らかにした。得られたIn膜は結晶ではから構成されている。調製したIn膜の熱脱着測定は大量H_2のガスが固体での水素溶解度と比較してIn膜に限定されていることを明らかにした。得られた結果は,H_2プラズマにより誘起された液体金属中の過剰水素溶解度はIn蒸発の強化のための重要な因子であることを示唆した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 細孔 ,  気泡 ,  プラズマ ,  アルゴン ,  *インジウム ,  粒径 ,  *ナノ構造 ,  *水素 ,  堆積速度 ,  温度依存性 ,  蒸発 ,  多孔性 ,  溶解度 ,  電力 ,  ヘリウム
準シソーラス用語： シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 電極材料 ,  水素貯蔵材料 ,  Nanostructures ,  蒸着 ,  走査型および透過型電子顕微鏡観察 ,  表面と界面

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (11件)： 低温 ,  ナノ構造 ,  粒子膜 ,  堆積 ,  溶融 ,  インジウム ,  大気圧 ,  水素 ,  グロー放電 ,  相互作用 ,  研究