様々な発散角のde LavalノズルでPt触媒を用いたH2-O2反応で作製する酸化亜鉛膜成長用のH2Oビーム

TERAGUCHI Yusuke; ISHIDZUKA Yuki; NAKAMURA Tomoki; TAKAHASHI Kazumasa; TAMAYAMA Yasuhiro; HARADA Nobuhiro; YASUI Kanji

文献

J-GLOBAL ID：201702287881668262 整理番号：17A1220561

様々な発散角のde LavalノズルでPt触媒を用いたH₂-O₂反応で作製する酸化亜鉛膜成長用のH₂Oビーム

H₂O beams for zinc oxide film growth produced by a Pt-catalyzed H₂-O₂ reaction at various divergent aperture angles of a de Laval nozzle

出版者サイト {{ this.onShowPLink() }} 複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=17A1220561&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=17A1220561&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

著者 (7件)： , , , , , ,
資料名：
巻： 55 号： 2S ページ： 02BC12.1-02BC12.4 発行年： 2016年02月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

化学気相堆積法による酸化亜鉛薄膜の成長を目的としたde Lavalノズルにより生成した高エネルギーH₂Oビームを,様々な開き角で圧縮可能流れ理論に基づいて評価した。この過程では,Ptナノ粒子上のH₂とO₂の触媒反応により高温のH₂Oが生成され,ノズルを通って反応領域に流出した。理論的なビーム温度分布,縮小されたスケーリングパラメータ,および50°~90°の角度で生成されたH₂Oビームの平均クラスターサイズを評価した。すべての角度に対するH₂Oビームの換算パラメータは,200以下と計算され,平均クラスタサイズはノズルの発散開口角に関係なく1であると推定され,クラスタがH₂Oビーム内に形成されないことを示唆した。様々な発散角度を用いて成長させた酸化亜鉛膜の結晶度と電気的性質も評価した。(翻訳著者抄録)

, , , , , , , , , , , , , , ,
, ,

薄膜成長技術・装置

引用文献 (33件)：

S. Pizzini, N. Butta, D. Narducci, and M. Palladino, J. Electrochem. Soc. 136, 1945 (1989).
I. S. Jeong, J. H. Kim, and S. Im, Appl. Phys. Lett. 83, 2946 (2003).
P. Fons, K. Iwata, S. Niki, A. Yamada, and K. Matsubara, J. Cryst. Growth 201-202, 627 (1999).
A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makin, M. Sumiya, K. Ohtani, S. F. Chichibu, S. Fuke, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, and M. Kawasaki, Nat. Mater. 4, 42 (2005).
T. Minami, H. Sato, H. Nanto, and S. Takata, Jpn. J. Appl. Phys. 24, L781 (1985).

, , , , , , , , ,

前のページに戻る