荷電粒子ビームのノズル、生成方法、および生成システム

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡本正之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-130836
公開番号（公開出願番号）：特開2013-253916
特許番号：特許第6048790号
出願日： 2012年06月08日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】荷電粒子を通す通路を内部になし先端部が基端部より絞られた内径を有している筒状または管状の絶縁体側壁と、該絶縁体側壁の外側面の表面に接して形成された複数の電極とを備え、該複数の電極は、少なくとも前記通路の延びる向きの各位置を分けるように区切られた電極群をなしており、該電極群に含まれる少なくとも2つの電極は、荷電粒子が前記先端部から放出される期間の少なくとも一時期、互いに異なる電位または互いに異なる電気的接続状態にされるものであり、前記絶縁体側壁の前記通路に向かう内壁の電荷が前記電極群をなす前記複数の電極のいずれかによる影響を受けるものである荷電粒子ビーム用ノズル。

IPC (5件)：

G21K 1/087 ( 200 6.01) , G21K 1/00 ( 200 6.01) , G21K 1/02 ( 200 6.01) , H01J 37/09 ( 200 6.01) , H01J 37/12 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G21K 1/087 F , G21K 1/00 A , G21K 1/02 C , H01J 37/09 A , H01J 37/12

引用特許：

審査官引用 (4件)

荷電粒子ビームの偏向・収束方法および荷電粒子ビームの偏向・収束器具
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-185522 出願人：独立行政法人理化学研究所, 学校法人高知工科大学
荷電粒子ビームガイド
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-083203 出願人：工業技術院長, 科学技術庁金属材料技術研究所長
テーパ付きキャピラリ光学装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-515972 出願人：ヒルシュ,グレゴリー

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