特許
J-GLOBAL ID：201703000381379661

表面付着物の検査装置及び検査方法

発明者：
江口 博倫

江口 博倫 について


出願人/特許権者：
株式会社SUMCO

株式会社SUMCO について


代理人 (1件)： とこしえ特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-047904
公開番号（公開出願番号）：特開2017-161437
出願日： 2016年03月11日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：
【課題】パーティクルその他の表面付着物を正確に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】開口部211の端縁が測定対象面11に接し、前記測定対象面を被覆するカップ状の被覆部材21と、前記測定対象面の電位を測定する電位測定手段22と、前記電位測定手段により測定された電位をゼロにする又はゼロに近づける除電エネルギを前記測定対象面に付与する除電手段23と、前記被覆部材の内部の空気を撹拌する撹拌手段24と、前記被覆部材の内部の空気を吸引する吸引手段25と、前記吸引手段により吸引した空気中のパーティクルを検査する検査手段26と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
開口部の端縁が測定対象面に接し、前記測定対象面を被覆するカップ状の被覆部材と、 前記測定対象面の電位を測定する電位測定手段と、 前記電位測定手段により測定された電位をゼロにする又はゼロに近づける除電エネルギを前記測定対象面に付与する除電手段と、 前記被覆部材の内部の空気を撹拌する撹拌手段と、 前記被覆部材の内部の空気を吸引する吸引手段と、 前記吸引手段により吸引した空気中のパーティクルを検査する検査手段と、 を備える表面付着物の検査装置。
IPC (2件)：
G01N 1/02 ,  G01N 15/00
FI (2件)：
G01N1/02 A ,  G01N15/00 C
Fターム (10件)：
2G052AA04 ,  2G052AA40 ,  2G052AC21 ,  2G052AC28 ,  2G052AD12 ,  2G052AD32 ,  2G052BA02 ,  2G052BA14 ,  2G052DA03 ,  2G052JA07
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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