特許
J-GLOBAL ID：201703000610515132
追尾式レーザ干渉計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-109550
公開番号（公開出願番号）：特開2014-228451
特許番号：特許第6104708号
出願日： 2013年05月24日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定体である第1のレトロリフレクタに向けて出射され、当該第1のレトロリフレクタによって戻り方向に反射されるレーザビームの干渉を利用して前記第1のレトロリフレクタの変位を検出すると共に、前記レーザビームの光軸の位置の変化を用いてトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計であって、
固定配設された基準球と、
前記基準球との間の相対的な変位に応じた変位信号を出力する第1の変位計を備えたキャリッジと、
前記キャリッジに設けられた第2のレトロリフクレクタと、
前記第1のレトロリフレクタと前記第2のレトロリフクレタとの相対的な変位に応じた変位信号を出力するレーザ干渉計と、
前記第1の変位計が出力する変位信号と、前記レーザ干渉計が出力する変位信号とから、前記基準球を基準とした前記第1のレトロリフレクタの変位を算出するデータ処理装置と、
を備えたことを特徴とする追尾式レーザ干渉計。
IPC (2件)：
G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
