レーザ干渉追尾測長方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 松山圭佑 , 牧野剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-239471
公開番号（公開出願番号）：特開2008-064471
出願日： 2006年09月04日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：

【課題】レーザ干渉追尾測長の高精度化、信頼性向上を図る。【解決手段】測定の基準をなす基準球14と、測定対象に配設される測定側反射体15と、該測定側反射体15との距離の増減に応じて測定値を出力するレーザ干渉計32と、該レーザ干渉計32からの出射ビームを前記基準球14を中心として回動するための円弧運動機構とを用いて、前記基準球14の中心座標を基準とし、前記円弧運動機構に載ったレーザ干渉計32からの出射光と戻り光の光軸が平行となる測定側反射体15との距離を測定するレーザ干渉追尾測長方法において、前記レーザ干渉計32の本体部26から分離され、前記基準球14と接触して、その表面をなぞりつつ測定光の方向に変位するようにされた参照側反射体33を設け、該参照側反射体33から測定側反射体15迄の距離を測定する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

測定の基準をなす基準球と、測定対象に配設される測定側反射体と、該測定側反射体との距離の増減に応じて測定値を出力するレーザ干渉計と、該レーザ干渉計からの出射ビームを前記基準球を中心として回動するための円弧運動機構とを用いて、前記基準球の中心座標を基準とし、前記円弧運動機構に載ったレーザ干渉計からの出射光と戻り光の光軸が平行となる測定側反射体との距離を測定するレーザ干渉追尾測長方法において、前記レーザ干渉計の本体部から分離され、前記基準球と接触して、その表面をなぞりつつ測定光の方向に変位するようにされた参照側反射体を設け、該参照側反射体から測定側反射体迄の距離を測定することを特徴とするレーザ干渉追尾測長方法。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01S 17/66

FI (2件)：

G01B11/00 G , G01S17/66

Fターム (42件)：

2F065AA02 , 2F065AA06 , 2F065AA22 , 2F065BB07 , 2F065BB15 , 2F065CC10 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065DD13 , 2F065FF28 , 2F065FF52 , 2F065FF61 , 2F065FF65 , 2F065GG04 , 2F065HH08 , 2F065LL02 , 2F065LL17 , 2F065LL19 , 2F065LL33 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065PP02 , 2F065PP03 , 2F065PP04 , 2F065PP05 , 2F065PP22 , 5J084AA05 , 5J084AB17 , 5J084AD08 , 5J084BA11 , 5J084BA47 , 5J084BA57 , 5J084BB15 , 5J084BB16 , 5J084BB22 , 5J084DA01 , 5J084DA02 , 5J084DA04 , 5J084DA07 , 5J084EA01 , 5J084EA23 , 5J084EA31

引用特許：

出願人引用 (12件)

特許第2603429号公報
米国特許第6147748号明細書
米国特許第4889409号明細書

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