特許
J-GLOBAL ID：201103070794086399
試料ステージおよび荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 学
, 戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-041240
公開番号（公開出願番号）：特開2011-181190
出願日： 2010年02月26日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：
【課題】本発明の目的は、試料室の熱変形に依らず、高精度にステージ位置を検出することが可能な試料ステージを備えた荷電粒子線装置の提供にある。【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージの位置を検出するためのレーザ干渉計を備えた荷電粒子線装置において、前記レーザ干渉計は、レーザを放出する光源と、前記試料ステージに設置される計測光用ミラーと、前記光源が設置される前記荷電粒子線装置の試料室壁面と対向する壁面に設置される参照光用ミラーと、前記光源から放出されるレーザを、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタとを備え、当該ビームスプリッタと前記計測光用ミラーとの間に、1/4λ波長板を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
試料ステージの位置を検出するためのレーザ干渉計を備えた荷電粒子線装置において、前記レーザ干渉計は、レーザを放出する光源と、前記試料ステージに設置される計測光用ミラーと、前記光源が設置される前記荷電粒子線装置の試料室壁面と対向する壁面に設置される参照光用ミラーと、前記光源から放出されるレーザを、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタとを備え、当該ビームスプリッタと前記計測光用ミラーとの間に、1/4λ波長板を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, G01B 11/00
, G01B 9/02
H01J37/20 D
, G01B11/00 G
, G01B9/02
2F064AA01
, 2F064BB01
, 2F064DD02
, 2F064DD03
, 2F064EE01
, 2F064GG12
, 2F064GG16
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F065AA02
, 2F065AA03
, 2F065BB01
, 2F065FF51
, 2F065GG04
, 2F065LL00
, 2F065LL12
, 2F065LL36
, 2F065NN00
, 5C001AA03
, 5C001CC04
, 5C001DD02
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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