特許
J-GLOBAL ID：201703000902702480
固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及び電子機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-173188
公開番号（公開出願番号）：特開2014-033107
特許番号：特許第6065448号
出願日： 2012年08月03日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板に設けられた複数の光電変換部と、
前記基板の深さ方向に開口幅が小さくなるように設けられた段差部を有する溝部と、
前記溝部の内壁面を被覆するように前記溝部内に埋め込まれた埋め込み膜と、前記溝部の直上に設けられ、少なくとも一部が前記埋め込み膜に埋め込まれた遮光膜とを有し、隣り合う前記光電変換部間に設けられた素子分離部とを備え、
素子分離部は、各光電変換部を囲むように格子状に形成され、
前記段差部は、水平方向、及び、垂直方向に隣り合う光電変換部間に位置する溝部の内壁面にのみ設けられており、
前記水平方向、及び、垂直方向に隣り合う光電変換部間に位置する溝部の開口端の幅と、斜め方向に隣り合う光電変換部間に位置する溝部の開口端の幅がほぼ同じになるように、前記溝部が設けられている
固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/14 ( 200 6.01)
, H01L 27/146 ( 200 6.01)
, H04N 5/369 ( 201 1.01)
, H04N 5/374 ( 201 1.01)
H01L 27/14 D
, H01L 27/14 A
, H04N 5/335 690
, H04N 5/335 740
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)
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