特許
J-GLOBAL ID：201703001023053580

受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置

発明者：
吉田 武司

吉田 武司 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について


代理人 (2件)： 大坪 隆司 ,  村口 佐智子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-019312
公開番号（公開出願番号）：特開2014-148031
特許番号：特許第6148025号
出願日： 2013年02月04日
公開日（公表日）： 2014年08月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板受渡部材に対して基板を受け渡すハンドに、基板の受渡位置を教示するための受渡位置教示方法であって、 前記ハンドにより、前記基板受渡部材に対して受け渡されるべき基板に代えて教示用基板を支持して搬送するときに、当該教示用基板との接触を検出するための検出部材を、前記基板受渡部材に代えて、前記基板受渡部材が設けられる設置場所で、前記基板受渡部材に対応する位置に配置する検出部材配置工程と、 前記ハンドにより前記教示用基板を支持する支持工程と、 前記教示用基板を支持したハンドを移動させる工程と、 前記ハンドにより支持されて移動する前記教示用基板が前記検出部材と接触した位置に基づいて、前記基板の受渡位置を特定して記憶する受渡位置特定工程と、 を備えたことを特徴とする受渡位置教示方法。
IPC (2件)：
B25J 9/22 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01)
FI (2件)：
B25J 9/22 A ,  H01L 21/68 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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