特許
J-GLOBAL ID:201703001474485239

シート剥離装置および剥離方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-019806
公開番号(公開出願番号):特開2014-150232
特許番号:特許第6152275号
出願日: 2013年02月04日
公開日(公表日): 2014年08月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】 板状部材の一方の面に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、 前記板状部材と前記剥離用テープとを相対移動させて前記板状部材から前記接着シートを剥離する移動手段と、 前記接着シートが剥離されて表出した板状部材の一方の面を押える押え手段とを備え、 前記押え手段は、前記板状部材と前記剥離用テープとの相対移動に合わせて前記剥離用テープの剥離方向に移動しながら、前記接着シートが剥離されて表出した前記接着シートの糸状に延びた接着剤層を切断する接着剤切断手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
IPC (2件):
H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/68 N ,  H01L 21/304 622 J
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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