特許
J-GLOBAL ID：201703001728238636

基板処理システム

発明者：
武田 直也

武田 直也 について

, 
平塚 昌夫

平塚 昌夫 について

, 
上野 真義

上野 真義 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 三好 秀和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-548938
特許番号：特許第6156513号
出願日： 2013年11月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 処理対象の基板を垂直に搭載する基板キャリアを複数搬送可能な基板処理システムであって、 前記基板を前記基板キャリアに移載する基板移載装置と、 前記基板キャリアに装着された前記基板を処理対象とするプロセス処理装置と、 前記基板移載装置と前記プロセス処理装置間で前記基板キャリアを巡回させる搬送装置と、 前記搬送装置に連結する分岐路、及び前記分岐路を移動する前記基板キャリアが格納される格納領域を有する基板キャリア移載機構と、 前記基板移載装置と前記プロセス処理装置間において、前記搬送装置で搬送される前記基板キャリアに前記基板が正常に装着されているか否かを検出する基板装着センサと を備え、 前記格納領域において前記基板キャリアが前記基板処理システムから取り出され、 前記基板キャリアに前記基板が正常に装着されていないことを前記基板装着センサが検出した場合に、前記基板キャリアが前記格納領域に格納される ことを特徴とする基板処理システム。
IPC (3件)：
B65G 49/06 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 49/07 ( 200 6.01)
FI (3件)：
B65G 49/06 Z ,  H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 L
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM