特許
J-GLOBAL ID：201703001954470878
ロールツーロール処理装置及び処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻川 典範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-039545
公開番号（公開出願番号）：特開2017-155286
出願日： 2016年03月02日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：
【課題】真空チャンバー内における長尺樹脂フィルムの安定した搬送が可能な処理装置を提供する。【解決手段】長尺樹脂フィルムFを巻き付けるキャンロール58とその前段又は後段のモーター駆動のフィードロール56、64とを備えた処理装置であって、キャンロール58はその外周肉厚部に回転軸方向に延在する複数のガス導入路13が周方向に均等に配設されており、各ガス導入路13は外周面側で等間隔に開口する複数のガス放出孔14を有しており、長尺樹脂フィルムFが巻き付けられるラップ部Aの角度範囲内に位置するガス導入路13群にのみガスを供給するガスロータリージョイント15を備えており、長尺樹脂フィルムFの搬送の開始又は停止の信号に基づいて選択されたキャンロール58又はフィードロール56、64によって長尺樹脂フィルムFの搬送制御を行う搬送制御手段が設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムに対して熱負荷のかかる処理を施す際に巻き付けるモーター駆動のキャンロールと、その前段及び/又は後段に設けられたモーター駆動の駆動ロールとを備えたロールツーロール処理装置であって、
前記キャンロールはその外周肉厚部に回転軸方向に延在する複数のガス導入路が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設されており、これら複数のガス導入路の各々は回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側で開口する複数のガス放出孔を有しており、前記キャンロールの外周面のうち長尺樹脂フィルムが巻き付けられるラップ部の角度範囲内に位置する複数のガス導入路にのみガスを分配して供給するガス分配手段を備えており、
前記長尺樹脂フィルムの搬送の開始又は停止の信号に基づいて選択された前記キャンロール又は前記駆動ロールによって前記長尺樹脂フィルムの搬送制御を行う搬送制御手段が設けられていることを特徴とするロールツーロール処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/56 D
, C23C14/34 U
4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA08
, 4K029BA25
, 4K029BB02
, 4K029BC03
, 4K029BD02
, 4K029CA05
, 4K029DA03
, 4K029DA06
, 4K029DC16
, 4K029DC39
, 4K029EA03
, 4K029JA10
, 4K029KA03
