露光装置、それを用いたデバイスの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高岡亮一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-204933
公開番号（公開出願番号）：特開2017-010067
特許番号：特許第6177409号
出願日： 2016年10月19日
公開日（公表日）： 2017年01月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】照明系からの光を原版に形成されたパターンに照射し、投影光学系を介して前記パターンの像を基板上に露光する露光装置であって、前記基板の外周よりも内側の円形境界線に重なる円弧を縁に含み、前記基板上の前記円形境界線より外側の外周領域に対して光が入射しないように光を遮断する遮光板と、前記遮光板を前記照明系の光軸に平行な軸の回りに回転駆動させる第1駆動部と、前記遮光板を前記光軸に垂直な平面内で直線駆動させる第2駆動部と、前記遮光板により形成される遮光領域と前記光で露光される露光領域との境界を示す、遮光位置を検出する検出部と、基準の時点において前記遮光板を検査ポジションに位置させた状態で前記検出部により検出された遮光位置と、前記基準の時点よりも後の前記遮光板の交換前後のそれぞれにおいて前記遮光板を前記検査ポジションに位置させた状態で前記検出部により検出された遮光位置と、を記憶し、前記遮光板を交換した後のある時点にて前記検出部により検出される遮光位置と、前記基準の時点での遮光位置と、前記遮光板を交換する前と交換した後との遮光位置と、に基づいて、前記基準の時点から前記ある時点までの前記遮光位置の変化量を算出し、前記算出された変化量に基づいて前記第1駆動部および前記第2駆動部を制御する制御部と、を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G03F 7/20 521

引用特許：

出願人引用 (9件)

露光装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-123051 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
露光装置及びその調整方法、露光方法、並びにデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-328993 出願人：株式会社ニコン
特開昭61-051826

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