特許
J-GLOBAL ID：201703002518447301

診断方法、荷電粒子ビーム描画装置、及びプログラム

発明者：
長谷川 啓

長谷川 啓 について

, 
木村 隼人

木村 隼人 について


出願人/特許権者：
株式会社ニューフレアテクノロジー

株式会社ニューフレアテクノロジー について


代理人 (1件)： 特許業務法人 天城国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-032249
公開番号（公開出願番号）：特開2017-152485
出願日： 2016年02月23日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
【課題】変換エラーを精度よく検出し、パターンの描画精度を向上する。【解決手段】本実施形態に係る診断方法は、複数の荷電粒子ビームに対応して設けられ、荷電粒子ビームを制御する複数の制御部と、制御部を駆動する駆動手段と、を有するアパーチャアレイのフォーマットに、荷電粒子ビームに対応する単位データからなる画像データを変換するための変換処理を診断する診断方法であって、所定数の単位データからなるブロックそれぞれの単位データのうちから、画像データでの単位データの配列に基づいた第1の順位が等しい単位データを抽出して、第1の順位ごとに第1チェックサムを演算する工程と、ブロックそれぞれの単位データのうちから、変換処理後の第2の順位が等しい単位データを抽出して、第2の順位ごとに第2チェックサムを演算する工程と、第1チェックサムと第2チェックサムとを比較する工程と、を含む。【選択図】図24
請求項（抜粋）：
複数の荷電粒子ビームに対応して設けられ、前記荷電粒子ビームを制御する複数の制御部と、前記制御部を駆動する駆動手段と、を有するアパーチャアレイのフォーマットに、前記荷電粒子ビームに対応する単位データからなる画像データを変換するための変換処理を診断する診断方法であって、 所定数の前記単位データからなるブロックそれぞれの前記単位データのうちから、前記画像データでの前記単位データの配列に基づいた第1の順位が等しい前記単位データを抽出して、前記第1の順位ごとに第1チェックサムを演算する工程と、 前記ブロックそれぞれの前記単位データのうちから、前記変換処理後の第2の順位が等しい前記単位データを抽出して、前記第2の順位ごとに第2チェックサムを演算する工程と、 前記第1チェックサムと前記第2チェックサムとを比較する工程と、 を含む診断方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (2件)：
H01L21/30 541W ,  G03F7/20 504
Fターム (3件)：
5F056AA07 ,  5F056CA09 ,  5F056CA28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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