特許
J-GLOBAL ID：201703002936462635
スイッチを用いて単一の信号チャネルと複数のパッドとの結合を切り替える試験回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-161738
公開番号（公開出願番号）：特開2017-129559
出願日： 2016年08月22日
公開日（公表日）： 2017年07月27日
要約：
【課題】 試験回路を提供する。【解決手段】 試験回路はダイのパッド試験を行うためのであり、ダイは少なくとも1組の試験ユニットを含み、各組の試験ユニットは複数のパッドを含む。該試験回路は、該複数のパッドにそれぞれ対応する複数のプローブと、少なくとも1つの信号チャネルと、該少なくとも1つの信号チャネルと該複数のプローブとの間に接続され、該少なくとも1つの信号チャネルと該複数のプローブとの結合を切り替える少なくとも1つのスイッチとを含む。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ダイのパッド試験を行うための試験回路であって、前記ダイは少なくとも1組の試験ユニットを含み、各組の試験ユニットは複数のパッドを含み、
前記試験回路は、
前記複数のパッドにそれぞれ対応する複数のプローブと、
少なくとも1つの信号チャネルと、
前記少なくとも1つの信号チャネルと前記複数のプローブとの間に接続され、前記少なくとも1つの信号チャネルと前記複数のプローブとの結合を切り替える少なくとも1つのスイッチと、を含む、試験回路。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R31/28 M
, G01R31/28 K
, H01L21/66 B
2G132AA00
, 2G132AE12
, 2G132AE22
, 2G132AF02
, 2G132AF18
, 2G132AL09
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106AC13
, 4M106BA01
, 4M106DD10
, 4M106DD11
