特許
J-GLOBAL ID：201703003241529107

ステージ装置

発明者：
野本 憲太郎

野本 憲太郎 について


出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (1件)： 保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-031390
公開番号（公開出願番号）：特開2017-151171
出願日： 2016年02月22日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：
【課題】 高重心化を招かずにθ方向移動の機構が追加された構造のステージ装置を提供し、θ方向の姿勢調節が可能であって且つ高い精度でステージの位置制御を行うことができるようにする。【解決手段】 平行してY方向に延びる一対のY方向ガイド31,32に案内される一対のY方向スライダ33,34にまたがって設けられたX方向ガイド21に案内されるX方向スライダ23上にステージ1が搭載され、XY方向に移動可能である。一方のY方向スライダ31はヒンジ81を介してX方向ガイド21に連結されている。一対のY方向スライダ31,32がY方向で互いに逆向きに移動することでX方向ガイド21、X方向スライダ23及びステージ1が一体にθ方向移動する。他方のY方向ガイド32は平ガイドであり他方のY方向スライダ34はX方向に変位可能である。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ステージと、 ステージをX方向に移動させるX方向移動機構と、 X方向に対して垂直なY方向にステージを移動させるY方向移動機構と を備えたステージ装置であって、 Y方向移動機構は、平行してY方向に延びる一対のY方向ガイドを備えており、 X方向移動機構は、X方向に延びるとともに一対のY方向ガイドにまたがったX方向ガイドを備えており、 X方向ガイドの両端にはY方向スライダを設けられて、各Y方向スライダは各Y方向ガイドに案内されることが可能な状態で各Y方向ガイドに載っており、 ステージは、X方向ガイドに案内されることが可能な状態でX方向ガイドに載っており、 Y方向移動機構において、少なくとも一方のY方向スライダはヒンジを介してX方向ガイドに連結されており、 当該少なくとも一方のY方向スライダは、X方向の変位が許容される状態でY方向ガイドに載っているか、又は当該少なくとも一方のY方向スライダとX方向ガイドとの間にX方向変位吸収部材が設けられていることを特徴とするステージ装置。
IPC (4件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/68 ,  G05D 3/12 ,  G05D 3/00
FI (5件)：
G03F7/20 521 ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/68 K ,  G05D3/12 H ,  G05D3/00 J
Fターム (32件)：
2H197AA05 ,  2H197CA07 ,  2H197CD12 ,  2H197CD15 ,  2H197CD18 ,  2H197CD41 ,  2H197CD43 ,  2H197CD48 ,  2H197HA03 ,  5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131CA70 ,  5F131EA02 ,  5F131EA14 ,  5F131EA15 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131KA03 ,  5F131KA16 ,  5F131KA47 ,  5F131KA72 ,  5F131KB32 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB14 ,  5H303DD04 ,  5H303DD10 ,  5H303DD21 ,  5H303GG13 ,  5H303HH02 ,  5H303QQ06
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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