特許
J-GLOBAL ID:201703003503971906
研磨布
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-151503
公開番号(公開出願番号):特開2014-012322
特許番号:特許第6068025号
出願日: 2012年07月05日
公開日(公表日): 2014年01月23日
請求項(抜粋):
【請求項1】 シート状の繊維基材と、その繊維基材に含浸された樹脂と、を備える研磨布であって、
前記研磨布の裏面側から前記研磨布に白色光を透過させたときに、前記研磨布の前記裏面とは反対側の主面において、100〜200階調の範囲にある局所的な明度のうちの95%以上が、前記研磨布全体での平均明度に対して±15階調以内になるよう、前記局所的な明度が分布している研磨布。
IPC (2件):
B24B 37/24 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (2件):
B24B 37/24 Z
, H01L 21/304 622 F
引用特許:
審査官引用 (6件)
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研磨布
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-266320
出願人:富士紡ホールディングス株式会社
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研磨布
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-285965
出願人:富士紡ホールディングス株式会社
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研磨用シートの製造方法及び研磨用シート
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-218518
出願人:日華化学株式会社, 日本バイリーン株式会社
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精密研磨材
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-295051
出願人:日本バイリーン株式会社
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研磨用布帛およびその製法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-244041
出願人:KBセーレン株式会社
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研磨層の検査方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-327616
出願人:東レ株式会社
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