特許
J-GLOBAL ID:201703003503971906

研磨布

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-151503
公開番号(公開出願番号):特開2014-012322
特許番号:特許第6068025号
出願日: 2012年07月05日
公開日(公表日): 2014年01月23日
請求項(抜粋):
【請求項1】 シート状の繊維基材と、その繊維基材に含浸された樹脂と、を備える研磨布であって、 前記研磨布の裏面側から前記研磨布に白色光を透過させたときに、前記研磨布の前記裏面とは反対側の主面において、100〜200階調の範囲にある局所的な明度のうちの95%以上が、前記研磨布全体での平均明度に対して±15階調以内になるよう、前記局所的な明度が分布している研磨布。
IPC (2件):
B24B 37/24 ( 201 2.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (2件):
B24B 37/24 Z ,  H01L 21/304 622 F
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 研磨布
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-266320   出願人:富士紡ホールディングス株式会社
  • 研磨布
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-285965   出願人:富士紡ホールディングス株式会社
  • 研磨用シートの製造方法及び研磨用シート
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2004-218518   出願人:日華化学株式会社, 日本バイリーン株式会社
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