特許
J-GLOBAL ID:201703003511882211
ガスセンサ
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (4件):
青木 宏義
, 天田 昌行
, 岡田 喜雅
, 三輪 正義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-138394
公開番号(公開出願番号):特開2017-020883
出願日: 2015年07月10日
公開日(公表日): 2017年01月26日
要約:
【課題】微量な測定対象ガスを高精度に検出可能なガスセンサを提供する。【解決手段】ガスセンサ1は、ヒータ層4と、ヒータ層4にて加熱され、測定対象ガスが検出されるガス検出部6と、を有し、ガス検出部6は、ガス感知層8と、ガス感知層8の表面を覆う拡散層9と、拡散層9の表面を覆う吸着層10と、を有し、吸着層10は拡散層9よりも測定対象ガスに対する吸着性に優れ、拡散層9は吸着層10よりも測定対象ガスに対する拡散性に優る。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ヒータ層と、前記ヒータ層にて加熱され、測定対象ガスが検出されるガス検出部と、を有し、
前記ガス検出部は、ガス感知層と、前記ガス感知層の表面を覆う拡散層と、前記拡散層の表面を覆う吸着層と、を有し、前記吸着層は、前記拡散層よりも前記測定対象ガスに対する吸着性に優れ、前記拡散層は、前記吸着層よりも前記測定対象ガスに対する拡散性に優れることを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (12件):
2G046AA10
, 2G046AA18
, 2G046AA24
, 2G046AA25
, 2G046AA26
, 2G046BA01
, 2G046BB02
, 2G046BD03
, 2G046BD04
, 2G046BD06
, 2G046FB02
, 2G046FE39
引用特許:
出願人引用 (7件)
-
薄膜ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-312840
出願人:富士電機機器制御株式会社
-
還元又は酸化ガス用のガスセンサ
公報種別:公表公報
出願番号:特願平8-503637
出願人:フォルシュングスツェントルムカールスルーエゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
-
ガス検出法およびガス検出器
公報種別:公表公報
出願番号:特願2002-591813
出願人:ヴェーエムアーエアセンスアナリューゼンテヒニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
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審査官引用 (7件)
-
薄膜ガスセンサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-312840
出願人:富士電機機器制御株式会社
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還元又は酸化ガス用のガスセンサ
公報種別:公表公報
出願番号:特願平8-503637
出願人:フォルシュングスツェントルムカールスルーエゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
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ガス検出法およびガス検出器
公報種別:公表公報
出願番号:特願2002-591813
出願人:ヴェーエムアーエアセンスアナリューゼンテヒニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
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引用文献:
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