ウエハ洗浄用ヒータ

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：辻川典範 , 山本正緒
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-117346
公開番号（公開出願番号）：特開2013-247126
特許番号：特許第6060524号
出願日： 2012年05月23日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウエハ洗浄時のウエハを加熱するためのウエハ洗浄用ヒータであって、いずれも炭化ケイ素又は炭化ケイ素を含む複合体からなる上板及び下板と、これら上板及び下板の間に挟み込まれた環状のガスケット又はO-リングと、これら上板及び下板並びに環状のガスケット又はO-リングで囲まれた空間内に設けられた加熱機構とからなり、前記上板及び下板は前記環状のガスケット又はO-リングの外側に設けた螺合部材で互いに結合されていることを特徴とするウエハ洗浄用ヒータ。

IPC (1件)：