特許
J-GLOBAL ID:201703004120500213
検出装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-103992
公開番号(公開出願番号):特開2013-231666
特許番号:特許第6066582号
出願日: 2012年04月27日
公開日(公表日): 2013年11月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光源と、当該光源から出射される光のうち選択的に特定範囲の波長の光であって、被測
定物を構成する物質の官能基が吸収を有する波長の光を透過するフィルターとを有し、当
該フィルターを介して被測定物に光を照射する照射部と、
前記被測定物の反射光を受光し、受光した当該反射光を電気信号に変換する受光素子を
備える受光部と、
を、具備する照射受光機構と、
前記受光部からの電気信号により吸光度を算出し、当該吸光度に基づいて、前記被測定
物の成分含有量を算出する演算部を具備する制御情報処理機構と、
を、有し、
前記照射受光機構と、前記制御情報処理機構とが、情報信号を伝達する制御線によって
接続されている、検出装置であって、
前記フィルターが、NCO基の吸収波長近傍の赤外線を透過するフィルターであり、
1.2〜2.5μmの波長であって前記被測定物を構成する物質の官能基が吸収を有す
る波長幅の赤外線を照射する他の照射部、又は、1.2〜2.5μmの波長であって前記
被測定物を構成する物質の官能基が吸収を有する波長幅の赤外線を選択的に透過する他の
フィルターをさらに有し、
前記他の照射部から、又は前記他のフィルターを介して、出射された赤外線の反射光を
変換した前記電気信号によって、前記演算部で、前記被測定物の厚みを算出する、検出装
置。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
審査官引用 (12件)
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特開平4-303703
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表面状態測定方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-159418
出願人:株式会社アドバンテスト
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特開昭62-278431
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