固体撮像装置及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：國分孝悦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-005601
公開番号（公開出願番号）：特開2014-138066
特許番号：特許第6161295号
出願日： 2013年01月16日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体基板の上面に複数の受光部が設けられた固体撮像装置の製造方法であって、前記半導体基板の上方に、前記複数の受光部における各受光部に対応し、互いに接する複数のカラーフィルタ層を形成する工程と、前記複数のカラーフィルタ層の上方に、前記各カラーフィルタ層の境界部分の上方領域に開口を有するフォトレジストを形成する工程と、前記フォトレジストの前記開口の側面に、前記各カラーフィルタ層の境界部分の上方領域を覆わないサイドウォールを形成する工程と、少なくとも前記サイドウォールをマスクとしたエッチングにより、前記各カラーフィルタ層の境界部分を除去し、前記複数の各カラーフィルタ層の間に中空部を形成する工程と、前記中空部を形成する工程の後に残存した前記開口を有するフォトレジストの上に、平坦化層を形成する工程と、を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 27/146 ( 200 6.01) , H01L 21/3065 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 27/146 D , H01L 21/302 104 H

引用特許：

審査官引用 (9件)

固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-291023 出願人：キヤノン株式会社
撮像素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-080267 出願人：富士フイルム株式会社
特開昭63-116430

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