蒸着マスク

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：特許業務法人インテクト国際特許事務所 , 石橋良規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-188269
公開番号（公開出願番号）：特開2017-002410
出願日： 2016年09月27日
公開日（公表日）： 2017年01月05日
要約：

【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる蒸着マスクの製造方法を提供すること。【解決手段】スリットが設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクの製造方法であって、支持体と、該支持体から剥離可能に設けられた金属層と、樹脂層と、がこの順で積層された積層体を準備する工程と、樹脂層上に、めっき法を用いて金属を析出させることでスリットが設けられた金属マスクを形成する工程と、前記樹脂層に、蒸着作製するパターンに対応し、かつ金属マスクに設けられたスリットと重なる開口部を形成することで樹脂マスクを形成する工程と、開口部に対応する貫通孔を、金属層に形成する工程と、貫通孔が形成された金属層から支持体を剥離する工程と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

スリットが設けられた金属マスクと、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクであって、前記樹脂マスクの前記金属マスクと接しない側の面であって、前記蒸着マスクの厚み方向おいて前記樹脂マスクの前記開口部と重ならない位置に、金属層が設けられている蒸着マスク。

IPC (3件)：

C23C 14/04 , H05B 33/10 , H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/04 A , H05B33/10 , H05B33/14 A

Fターム (8件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC35 , 3K107CC42 , 3K107FF15 , 3K107GG33 , 4K029HA02 , 4K029HA03

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭63-076859
特開昭63-076859
シャドウマスク及び蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-103339 出願人：三菱化学株式会社

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