特許

J-GLOBAL ID：201703008392762379

結晶製造装置

発明者： 宇治原 徹 ,  原田 俊太 ,  朱 燦 ,  長岡 美津也
出願人/特許権者： 国立大学法人名古屋大学 ,  日新技研株式会社
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-185971
公開番号（公開出願番号）：特開2014-043366
特許番号：特許第6122265号
出願日： 2012年08月26日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 液相成長法により原料溶液中で種結晶の結晶成長面に単結晶を成長させるための結晶製造装置であって、 前記原料溶液を収容する液槽と、前記種結晶を保持する結晶保持要素と、前記液槽中の前記原料溶液を流動させる溶液流動要素と、を持ち、 前記結晶保持要素は、前記液槽内において前記種結晶を保持可能であり、前記液槽の深さ方向に延びるz軸に対して直交するxy平面の少なくとも一部の領域において移動可能であり、 前記原料溶液は前記z軸を中心とする円弧方向に流動し、 前記結晶保持要素は、前記z軸に対し前記円弧の径方向外側で前記種結晶を保持可能なディップ軸部を有し、 前記ディップ軸部は、前記原料溶液の流動方向に対する前記種結晶のステップ進展方向が一定の方向となるように前記z軸に対して公転しつつ自転する、結晶製造装置。

IPC (1件)：

C30B 19/10 ( 200 6.01)

FI (1件)：

C30B 19/10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 単結晶の製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-418346   出願人：住友金属工業株式会社
• 酸化物単結晶膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-362758   出願人：株式会社村田製作所
• 液相成長方法および液相成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-382279   出願人：キヤノン株式会社
• 融液原料供給装置および多結晶体または単結晶体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-121296   出願人：シャープ株式会社