特許
J-GLOBAL ID：201703010502910489
強誘電体膜の成膜方法並びに成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 千惠子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-132194
公開番号（公開出願番号）：特開2015-008182
特許番号：特許第6160295号
出願日： 2013年06月25日
公開日（公表日）： 2015年01月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 化学溶液堆積法で強誘電体膜を成膜する強誘電体膜の成膜方法であって、
溶媒を含む前駆体液を塗布して基板またはウェハ上に塗膜を形成する塗布工程と、
前記塗膜に熱処理を行って強誘電体膜を成膜する熱処理工程と、
前記塗布工程および前記熱処理工程を繰り返して積層成膜する繰り返し工程と、を備え、
前記塗布工程は、第一の回転速度にて前記基板またはウェハを回転させながら所定の量の前記前駆体液を当該基板またはウェハ上に滴下し、前駆体液を基板またはウェハの外縁まで展延させて塗膜を形成した後、第二の回転速度にて前記基板またはウェハを回転させながら当該基板またはウェハ全面に展延させた前記塗膜の脱気・脱泡処理を行うとともに、前記第二の回転速度で回転させながら、前記溶媒の沸点よりも低い温度で前記塗膜を加熱し、次いで、前記第二の回転速度よりも高い回転速度で前記基板またはウェハを回転させることを特徴とする強誘電体膜の成膜方法。
IPC (11件)：
H01L 21/316 ( 200 6.01)
, H01L 41/318 ( 201 3.01)
, H01L 41/43 ( 201 3.01)
, H01L 41/047 ( 200 6.01)
, H01L 41/187 ( 200 6.01)
, B05C 11/08 ( 200 6.01)
, B05C 9/14 ( 200 6.01)
, B05C 9/06 ( 200 6.01)
, B05D 1/40 ( 200 6.01)
, B05D 3/02 ( 200 6.01)
, B05D 5/12 ( 200 6.01)
H01L 21/316 G
, H01L 41/318
, H01L 41/43
, H01L 41/047
, H01L 41/187
, B05C 11/08
, B05C 9/14
, B05C 9/06
, B05D 1/40 A
, B05D 3/02 Z
, B05D 5/12 Z
