感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：天野一規 , 池田義典 , 小川博生 , 石田耕治 , 各務幸樹 , 藤中賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-167291
公開番号（公開出願番号）：特開2017-044875
出願日： 2015年08月26日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
要約：

【課題】PEB温度依存性に優れる感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】下記式(1)で表される基を含む第1構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体、及び溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物。下記式(1)中、R1は、置換又は非置換の炭素数1〜20の3価の炭化水素基である。*は、上記第1構造単位における下記式(1)で表される基以外の部分と結合する部位を示す。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表される基を含む第1構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体、及び溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 , G03F 7/039 , C08F 20/38 , G03F 7/20

FI (5件)：

G03F7/038 601 , G03F7/039 601 , C08F20/38 , G03F7/20 521 , G03F7/20 501

Fターム (91件)：

2H125AF17P , 2H125AF38P , 2H125AF41P , 2H125AF70P , 2H125AH05 , 2H125AH14 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH23 , 2H125AH24 , 2H125AH29 , 2H125AJ14X , 2H125AJ64X , 2H125AJ65X , 2H125AJ69X , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN51P , 2H125AN54P , 2H125AN63P , 2H125AN65P , 2H125AN88P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC01 , 2H125CC17 , 2H125FA03 , 2H125FA05 , 2H197AA12 , 2H197BA17 , 2H197CA08 , 2H197CE01 , 2H197HA03 , 2H225AF53P , 2H225AF54P , 2H225AF67P , 2H225AF68P , 2H225AF70P , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL31R , 4J100BA02R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA03S , 4J100BA11Q , 4J100BA11S , 4J100BA12R , 4J100BA15R , 4J100BA40Q , 4J100BA40R , 4J100BA40S , 4J100BA54Q , 4J100BA54R , 4J100BA54S , 4J100BA58Q , 4J100BA58S , 4J100BB17Q , 4J100BC03P , 4J100BC03R , 4J100BC04P , 4J100BC04R , 4J100BC07Q , 4J100BC07R , 4J100BC07S , 4J100BC08Q , 4J100BC08S , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC09S , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100BC53S , 4J100BC58R , 4J100BC60Q , 4J100BC60S , 4J100BC84Q , 4J100BC84S , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100FA03 , 4J100FA19 , 4J100JA37 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平3-177410
光学用樹脂及びそれを用いた用途
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-121156 出願人：日立化成工業株式会社, 学校法人神奈川大学
ハロゲン化銀エマルジョンの化学増感
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-299798 出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー

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