MEMS装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-055594
公開番号（公開出願番号）：特開2017-173351
出願日： 2016年03月18日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：

【課題】消音用構造体を可動部とは別個に設けることなく、MEMS装置が発生する騒音を抑制することが可能な技術を提供する。【解決手段】本明細書が開示するMEMS装置は、可動部と、支持部と、可動部が支持部に対して相対的に移動可能に可動部と支持部の間を連結する連結部を備えている。そのMEMS装置では、可動部の可動範囲が大きな箇所近傍に、可動部を動かすために必要な空隙と、空気を逃がすための空隙を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可動部と、支持部と、可動部が支持部に対して相対的に移動可能に可動部と支持部の間を連結する連結部を備えており、可動部の可動範囲が大きな箇所近傍に、可動部を動かすために必要な空隙と、空気を逃がすための空隙を有する、MEMS装置。

IPC (4件)：

G02B 26/10 , G02B 26/08 , B81B 3/00 , G01S 7/481

FI (4件)：

G02B26/10 104Z , G02B26/08 E , B81B3/00 , G01S7/481 Z

Fターム (44件)：

2H045AB16 , 2H045AB38 , 2H141MA12 , 2H141MB24 , 2H141MC05 , 2H141MC06 , 2H141MC08 , 2H141MC09 , 2H141MD12 , 2H141MD13 , 2H141MD16 , 2H141MD17 , 2H141MD20 , 2H141MD23 , 2H141MD24 , 2H141ME09 , 2H141ME24 , 2H141ME25 , 2H141MF22 , 2H141MF30 , 2H141MG10 , 2H141MZ06 , 2H141MZ16 , 2H141MZ25 , 3C081AA11 , 3C081AA13 , 3C081BA05 , 3C081BA28 , 3C081BA44 , 3C081BA47 , 3C081BA53 , 3C081BA54 , 3C081BA55 , 3C081CA13 , 3C081DA03 , 3C081EA08 , 5J084AA05 , 5J084AA13 , 5J084AD01 , 5J084BA03 , 5J084BA32 , 5J084BA48 , 5J084BB02 , 5J084BB24

引用特許：

出願人引用 (7件)

2次元光スキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-067345 出願人：スタンレー電気株式会社
光偏向器及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-053350 出願人：セイコーエプソン株式会社
MEMS装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-116696 出願人：株式会社豊田中央研究所

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審査官引用 (7件)

2次元光スキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-067345 出願人：スタンレー電気株式会社
光偏向器及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-053350 出願人：セイコーエプソン株式会社
MEMS装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-116696 出願人：株式会社豊田中央研究所

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