特許
J-GLOBAL ID:201003008899768113
光偏向器及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
稲葉 良幸
, 田中 克郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-053350
公開番号(公開出願番号):特開2010-079243
出願日: 2009年03月06日
公開日(公表日): 2010年04月08日
要約:
【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
反射面と側面を備える可動板と、
所定の軸の周りに前記可動板を回動可能に支持する支持部と、を有し、
前記可動板の前記側面が、前記軸に向かって窪んでいる、光偏向器。
IPC (4件):
G02B 26/08
, G02B 26/10
, B81B 3/00
, B81C 1/00
FI (4件):
G02B26/08 E
, G02B26/10 104Z
, B81B3/00
, B81C1/00
Fターム (40件):
2H045AB10
, 2H045AB16
, 2H045AB38
, 2H045AB62
, 2H045AB73
, 2H045BA13
, 2H045BA24
, 2H045BA32
, 2H045DA11
, 2H045DA31
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC05
, 2H141MD12
, 2H141MD20
, 2H141MD23
, 2H141ME09
, 2H141ME25
, 2H141MF01
, 2H141MF08
, 2H141MF10
, 2H141MF30
, 2H141MG06
, 2H141MZ06
, 2H141MZ13
, 2H141MZ16
, 2H141MZ19
, 2H141MZ25
, 3C081AA13
, 3C081BA21
, 3C081BA22
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA47
, 3C081BA54
, 3C081CA02
, 3C081CA15
, 3C081DA02
, 3C081EA08
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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