特許
J-GLOBAL ID:201003008899768113

光偏向器及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 稲葉 良幸 ,  田中 克郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-053350
公開番号(公開出願番号):特開2010-079243
出願日: 2009年03月06日
公開日(公表日): 2010年04月08日
要約:
【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
反射面と側面を備える可動板と、 所定の軸の周りに前記可動板を回動可能に支持する支持部と、を有し、 前記可動板の前記側面が、前記軸に向かって窪んでいる、光偏向器。
IPC (4件):
G02B 26/08 ,  G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
FI (4件):
G02B26/08 E ,  G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00
Fターム (40件):
2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB38 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73 ,  2H045BA13 ,  2H045BA24 ,  2H045BA32 ,  2H045DA11 ,  2H045DA31 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC05 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141ME09 ,  2H141ME25 ,  2H141MF01 ,  2H141MF08 ,  2H141MF10 ,  2H141MF30 ,  2H141MG06 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ13 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ25 ,  3C081AA13 ,  3C081BA21 ,  3C081BA22 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA54 ,  3C081CA02 ,  3C081CA15 ,  3C081DA02 ,  3C081EA08
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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